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启新程•创未来 | 全资子公司"利阳芯"正式开业!
来源:admin时间:2024-2-21浏览量:352

2024年2月21日,利扬芯片全资子公司利阳芯(东莞)微电子有限公司举行开业仪式。东莞市东城街道办事处副主任李淦球先生、东城街道经济发展局副主任李国华先生、东城街道同沙社区书记钟汉良先生、副书记谢锦富先生、东城投资促进中心副主任兼科技工业园负责人卢志君先生等嘉宾出席仪式,并与公司管理团队共同为 “利阳芯”隆重揭幕。

利阳芯项目已入选东莞市2023年重大建设项目,近期已成功完成晶圆减薄、抛光,激光开槽,激光隐切等系列技术工艺的调试并将进入量产阶段。




利阳芯在晶圆减薄、抛光技术工艺方面,目前可提供业内最高标准的超薄晶片减薄加工技术服务。采用全自动研削拋光机,实现背面研削和去除应力的一体化作业,可稳定地实施厚度在25μm以下的薄型化加工。

利阳芯在激光开槽技术工艺方面,采用非接触的激光加工去除晶圆切割道表面的金属布线层,支持晶圆的开槽和全切工艺,激光开槽宽度20-120μm连续可调,开槽深度可达26-30μm,有较好的槽型和深度稳定性,适用于切割道存在多金属、厚金、Low-K、钝化层等多种情况。激光开槽工艺技术解决常规刀片切割带来的崩边、金属卷边和金属残留等异常及正面钝化层破裂的品质问题,避免芯片产品存在可靠性风险。


利阳芯拥有业内领先的无损内切激光隐切技术。隐形切割是将激光聚焦于晶圆内部以形成改质层,配合扩片将晶圆分割成die(裸片/裸晶)的切割方法。该技术可适用于加工最窄20μm切割道的晶圆,(标准划片道由60μm缩小至20μm),提升晶圆芯片面积的利用率,提高Gross dies的数量,预计降低芯片成本最大可达30%以上。激光隐切技术可取代很多传统金刚石水切工艺无法解决的技术难题。



另外,激光隐切属于干式环保工艺,无损内切在加工品质上的优势如下:(1)可以抑制加工碎屑的产生,抗污,防止芯片的正背面崩边和侧崩,有效避免对芯片线路的损伤;(2)隐切对正面钝化层的保护更加完好,污染、微粒粘附、PAD氧化等影响键合难题均可以得到有效的解决,从而保证客户芯片产品稳定的品质和良率,对高可靠性芯片包括特种芯片更是提升品质的最佳解决方案。


公司目前具备晶圆减薄、抛光,激光开槽,激光隐切等系列技术工艺的服务能力,随着该等系列技术工艺量产,进一步丰富了公司技术服务的类型,满足全系列晶圆切割需求,有助于协同集成电路测试业务发展,提升公司的核心竞争力和市场地位,服务更多优质客户,预计对公司未来的市场拓展和业绩成长产生积极的影响。

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